主尼康、佳能，都率先突破193纳米的制程，老实说，林泍坚心头也没底，这条路如果好走的话，ibm当初也不会直接放弃了，去搞什么x光微影技术。

“但不到最后，谁又敢说，深紫外光duv，不会成为最后的赢家呢？”李东陵看着林泍坚说道。

林泍坚闻言，无奈苦笑一声，“但成本太高了，要证明这条路是否正确，可能要投入数以亿计的美元，而如果失败，那可能全都打了水漂！”

“可不尝试，谁又知道，是否能成？”

林泍坚这时候，神情已经有些意动了，李东陵愿意支持他的duv项目，那说不得，真能弥补职业生涯的遗憾。

但有东芯半导体愿意买单，也不意味着，真就高枕无忧了，如果研发失败，巨额的研发费用打了水漂，那林泍坚可以说是要晚节不保了。

李东陵看到林泍坚，还带着几分犹豫不决的神色，再度放出一个大招。

“林博士，我并非是光刻机跟芯片行业的专业人士，所言只是异想天开，林博士只当听个笑话罢了。

现在不论是哪种光源的光刻机技术，离子投射、arf、x光、duv等，都属于以空气为媒介的干式光刻机，但如果把空气，换成水或者其它媒介呢……”

李东陵对于光刻机确实不是行家，但前世光刻机的传闻，多少有所耳闻，而其中最有名的，莫过于使用水作为光刻机的媒介，通过水的折射，将光源缩短投印在电路上。

听到李东陵的话，林泍坚刚开始，还只是一笑了之，随后面容变的越来越严肃。

李东陵的意思，林泍坚当然听的明白，乍一听，感觉似乎有些不靠谱，作为从业了一辈子的老炮，他可以找出李东陵这方法的各种漏洞，譬如使用水做媒介，会不会产生气泡，会不会污染设备，还有防水、水会发热膨胀、蒸发、影响精确度等各种问题。

但这些问题之外呢，林泍坚猛然想到，按照这套方法，是真有希望，把193纳米的光源，通过水的折射，直接变成134纳米的光源，从而一举绕过193纳米的天堑！

林泍坚心头跳动，猛然加快了几分，这套方法，理论上是可行的，哪怕它只是理论上的，至于那些问题，都有希望被解决！

“这也许就是当局者迷旁观者清，整个半导体行业，这些年来，都被传统思维禁锢住了！

李总，你是个天才，如果你当年选的是半导体行业，绝对能做出让人震惊的成绩！”林泍坚看向李东陵时，眼神都有些变了。

李东陵摇了摇头，“我只是胡言而已，

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第3页 / 共4页