驰所谓的改良方案是真是假。

打开第一张整体结构图，何永一眼就看出，这和他们原本的设计有很大的区别。

所以，他真对设计图进行了改良？

而从消化图纸，到完成改良设计，他仅仅只用了十天？！

先不说改良的方案到底行不行，光是这个效率，就让何永感到有些难以置信。

短暂的惊讶过后，何永便把设计图放大，仔细分析起了里面的改变，眉头也逐渐开始皱了起来。

“磁场约束？”

看着包裹着两个电极的麻状线条，何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……

没看出什么名堂的何永，试着根据康驰在整体结构图上的注解，找到了这个麻状的详细分解图。

然后他顿时就瞪大了眼睛。

他终于知道自己在哪，看过类似的结构了。

这是……

仿星器！

这结构，太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了！

开什么玩笑？！

我们这是在造euv光源，不是搞核聚变的！

就算你把仿星器设计出来了，是凭我们就能造出来的吗？！

何永看到这张图的第一眼，只觉得这太离谱了，

但多看两眼之后，他很快就发现，它虽然像仿星器，但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。

仿星器的设计，是个完美的闭环磁场，而这个显然是个开环，结构也相对简单很多。

何永又看了看这张图的技术说明，很快就理解了康驰这套改良方案，具体的原理是什么。

在dpp-euv方案中，最大的问题，就是在电离锡的时候，会产生大量的锡碎屑，

这些碎屑温度极高，很容易腐蚀、污染电极和设备，

尤其是收集光线的反射镜，

一旦受损，收集光线的效率就会直线降低。

所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理，制造一股无形的‘风’，把这些电离过程中产生的锡碎屑，沿着设计好的磁场路线吹出去。

想法是很好，但这可能实现吗？

先不说这个强磁场能不能造出来，就算造出来了，这么强的磁场，会不会对设备的其它部件，造成干扰影响？

而且除了这个磁场清理碎屑的改良点，何永在接下来，还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。

锡本来应该涂抹在电极上的，

但康驰直接在电极中间加了个喷嘴，把锡加热到2260度，变成气体喷出去！

原

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页 / 共3页